Apakah jenis filem logam yang boleh diperolehi dalam proses PVD tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum?

Apakah jenis filem logam yang boleh diperolehi dalam proses PVD tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum?

 

Aluminium (AL), Titanium (Ti), Titanium Nitride (TiN), Kobalt (Co).

 

Secara amnya, apabila wafer memasuki mesin PVD, ia mesti disalut dengan titanium/titanium nitride/aluminium/titanium/titanium nitride. Lima lapisan logam.

 

Fungsi kobalt ialah silisid logam (silisida).

Apakah prinsip proses PVD tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum?

 

 

Perbezaan potensi yang tinggi ditambah antara Sasaran dan wafer. Pada masa ini, proses gas Ar berpecah kepada Ar tambah di bawah beza keupayaan yang tinggi, dan kerana Ar tambah bercas positif dan tertarik oleh medan elektrik, ia berlanggar dengan Sasaran, menyebabkan sasaran menghasilkan butiran logam yang jatuh akibat graviti . Kepada wafer untuk membentuk filem. Proses ini ialah PVD.

Apakah sasaran tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum?

 

Dalam PVD, sasaran adalah bahan logam yang digunakan untuk menyediakan filem.

Prinsip asas penyaduran vakum tiub Pemanas elektrik PVD salutan sasaran

 

Prinsip asas teknologi pemendapan wap fizikal boleh dibahagikan kepada tiga langkah pemprosesan:

 

(1) Pengewapan bahan salutan, iaitu, penyejatan bahan salutan, yang tidak serupa dengan sputtering.

 

(2) Penghijrahan atom, molekul atau ion penyaduran elektro: Pelbagai tindak balas berlaku selepas atom, molekul atau ion berlanggar.

 

(3) Atom, molekul atau ion penyaduran elektrik dimendapkan pada substrat.

Sasaran salutan PVD tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum?

 

Pemendapan wap fizikal (PVD) ialah teknologi penyediaan filem nipis yang mengewapkan permukaan sasaran secara fizikal kepada atom gas, molekul atau bahagian yang terion menjadi ion di bawah keadaan vakum. Filem berfungsi didepositkan pada permukaan substrat. Kaedah utama pemendapan wap fizikal termasuk penyejatan vakum, pemendapan sputtering, penyaduran plasma arka, penyaduran ion, dll. Kelajuan pemendapan filem PVD adalah pantas, lekatan kuat, pembelauan yang baik, dan pelbagai aplikasi.

www.superbheater.com