Ketebalan salutan perak vakum boleh diukur dan dikawal dengan tepat

Ketebalan salutan perak vakum boleh diukur dan dikawal dengan tepat

Pelbagai teknik salutan memerlukan sumber atau sasaran penyejatan untuk menukar spesies pembentuk filem yang tersejat kepada gas. Dengan sumber atau sasaran yang semakin meningkat, pilihan bahan pembuatan filem berkembang dengan ketara. Sama ada logam, aloi, sebatian, seramik atau bahan organik, pelbagai filem logam dan filem dielektrik boleh didepositkan wap, dan bahan yang berbeza boleh didepositkan wap secara serentak untuk mendapatkan filem berbilang lapisan.

Bahan pembentuk filem tersejat atau terpercik ialah satu proses membentuk filem dengan bahan kerja disalut di bawah keadaan terpercik magnetron umum. Ketebalan filem boleh diukur dan dikawal dengan tepat. Ciri-ciri teknologi salutan vakum mesin salutan magnetron terutamanya termasuk salutan penyejatan vakum, salutan sputtering vakum, penyaduran ion vakum, pemendapan rasuk vakum dan pemendapan wap kimia.

Penyaduran perak vakum Konsep teknologi sputtering magnetron yang tidak seimbang

Kerana elektron bergerak sepanjang garis medan magnet dan kebanyakannya terhad pada permukaan sasaran, kawasan substrat kurang dihujani oleh ion. Konsep teknologi sputtering magnetron yang tidak seimbang bermakna fluks magnet kutub magnet luar katod magnetron adalah lebih besar daripada kutub magnet dalam, iaitu, garis medan magnet kedua-dua kutub magnet tidak akan ditutup sepenuhnya. pada permukaan sasaran, dan terdapat bahagian tertentu garis medan magnet. Ia akan memanjang di sepanjang bahagian tepi sasaran ke kawasan substrat, supaya sebahagian daripada elektron boleh memanjang ke substrat di sepanjang garis medan magnet, dengan itu meningkatkan ketumpatan plasma dan kadar pengionan gas di kawasan substrat. Tanpa mengira baki tidak seimbang, jika magnet pegun, ciri medan magnetnya menentukan kadar penggunaan sasaran umum kurang daripada 30 peratus . Medan magnet berputar boleh digunakan untuk meningkatkan penggunaan sasaran.

www.superbheater.com