Ketebalan salutan perak vakum boleh diukur dan dikawal dengan tepat

Ketebalan salutan perak vakum boleh diukur dan dikawal dengan tepat

Pelbagai teknik salutan memerlukan sumber atau sasaran penyejatan untuk menukar spesies pembentuk filem yang tersejat kepada gas. Dengan sumber atau sasaran yang semakin meningkat, pilihan bahan pembuatan filem berkembang dengan ketara. Sama ada logam, aloi, sebatian, seramik atau bahan organik, pelbagai filem logam dan filem dielektrik boleh didepositkan wap, dan bahan yang berbeza boleh didepositkan wap secara serentak untuk mendapatkan filem berbilang lapisan.

Bahan pembentuk filem tersejat atau terpercik ialah satu proses membentuk filem dengan bahan kerja disalut di bawah keadaan terpercik magnetron umum. Ketebalan filem boleh diukur dan dikawal dengan tepat. Ciri-ciri teknologi salutan vakum mesin salutan magnetron terutamanya termasuk salutan penyejatan vakum, salutan sputtering vakum, penyaduran ion vakum, pemendapan rasuk vakum dan pemendapan wap kimia.

Ciri biasa penyaduran perak vakum dan mesin salutan magnetron

Sputtering magnetron mesin salutan magnetron mempunyai pelbagai prinsip kerja dan objek aplikasi. Tetapi mereka semua mempunyai satu persamaan: Interaksi medan magnet dan elektrik menyebabkan elektron berputar di sekeliling permukaan sasaran, meningkatkan peluang elektron memukul argon untuk menghasilkan ion. Ion yang dihasilkan berlanggar dengan permukaan sasaran di bawah tindakan medan elektrik, dengan itu memercikkan sasaran.

Sumber sasaran mesin salutan magnetron boleh dibahagikan kepada jenis seimbang dan jenis tidak seimbang. Salutan sumber sasaran yang seimbang adalah seragam, dan salutan sumber sasaran yang tidak seimbang mempunyai lekatan yang kuat pada substrat. Sumber sasaran seimbang kebanyakannya digunakan untuk filem optik semikonduktor, dan sumber sasaran tidak seimbang kebanyakannya digunakan untuk memakai filem hiasan. Katod magnetron boleh dibahagikan secara kasar kepada katod magnetron seimbang dan tidak seimbang mengikut konfigurasi medan magnet yang berbeza. Fluks magnet keluli magnet di dalam dan di luar katod magnetron seimbang adalah lebih kurang sama, dan garis medan magnet dua kutub ditutup pada permukaan sasaran, yang boleh mengekang elektron/plasma berhampiran permukaan sasaran, meningkatkan kebarangkalian perlanggaran, dan meningkatkan kecekapan pengionan.

www.superbheater.com