Vakum peralatan penyaduran vakum terlalu rendah

Vakum peralatan penyaduran vakum terlalu rendah

Sebab kekuatan filem yang lemah ialah vakum terlalu rendah (mudah berlaku dalam mesin yang dikawal secara manual), ruang vakum kotor, dan pemanasan substrat tidak berada di tempatnya.

Apabila gas tambahan dinaikkan, bahan filem juga dikempiskan, yang mengurangkan tahap vakum, mengurangkan laluan bebas molekul, dan lapisan filem tidak kuat. Oleh itu, pengisian gas tambahan harus mempertimbangkan pengeluaran gas bahan filem, dan bahan filem harus dicairkan sepenuhnya dan dikeluarkan sepenuhnya sebelum penyaduran, dan ia juga boleh mengelakkan penurunan tahap vakum yang berlebihan yang disebabkan oleh keluar gas. bahan filem semasa penyejatan, sekali gus menjejaskan kekuatan filem.

Langkah-langkah untuk meningkatkan kekerasan permukaan filem luar peralatan penyaduran vakum:

(1) Apabila reka bentuk sistem filem membenarkan, tambahkan lapisan SiO2 kira-kira 10nm ke lapisan luar, dan kelicinan permukaan silikon dioksida adalah lebih buruk daripada magnesium fluorida (tetapi rintangan haus permukaan dan kekerasan silikon dioksida tidak seperti baik sebagai magnesium fluorida). Selepas penyaduran, pengeboman ion selama beberapa minit, kesan ketegasan akan menjadi lebih baik. (tetapi permukaannya akan menjadi kasar)

(2) Selepas kanta keluar dari ruang vakum, letakkan di tempat yang kering dan bersih untuk mengelakkan penyerapan lembapan yang cepat dan mengurangkan kekerasan permukaan.

Calar dalam filem peralatan penyaduran vakum:

① Penampilan projek sebelumnya adalah buruk dan sisa, beberapa calar tidak mudah ditemui sebelum salutan, dan pemeriksaan pra-kejuruteraan dan pemeriksaan payung sebelum salutan tidak mudah dicari, dan calar akan muncul selepas salutan.

② Calar pada kanta disebabkan oleh kecuaian semasa setiap operasi

③ Kanta diletakkan terlalu rapat, menyebabkan calar akibat terlanggar antara satu sama lain semasa pengendalian

④ Permukaan kanta tercalar oleh peralatan peletakan kanta dan bahan pembungkusan

⑤ Parut yang disebabkan oleh pembersihan ultrasonik

www.superbheater.com