Pembentuk vakum memerlukan sumber penyejatan atau sasaran penyejatan

Pembentuk vakum memerlukan sumber penyejatan atau sasaran penyejatan

Pelbagai teknik salutan memerlukan sumber atau sasaran penyejatan untuk menukar spesies pembentuk filem yang tersejat kepada gas. Dengan sumber atau sasaran yang semakin meningkat, pilihan bahan pembuatan filem berkembang dengan ketara. Sama ada logam, aloi, sebatian, seramik atau bahan organik, pelbagai filem logam dan filem dielektrik boleh didepositkan wap, dan bahan yang berbeza boleh didepositkan wap secara serentak untuk mendapatkan filem berbilang lapisan.

Mesin pembentuk vakum teknologi percikan magnetron tidak seimbang

Oleh itu, mesin salutan magnetron boleh melepaskan di bawah tekanan kerja dan voltan yang lebih rendah, dan kadar penggunaan sasaran agak tinggi. Walau bagaimanapun, kawasan substrat kurang dihujani oleh ion kerana elektron bergerak di sepanjang garis medan magnet dan kebanyakannya terhad pada permukaan sasaran. Konsep teknologi sputtering magnetron yang tidak seimbang bermakna fluks magnet kutub magnet luar katod magnetron adalah lebih besar daripada kutub magnet dalam, iaitu, garis medan magnet kedua-dua kutub magnet tidak akan ditutup sepenuhnya. pada permukaan sasaran, dan terdapat bahagian tertentu garis medan magnet. Ia akan memanjang di sepanjang bahagian tepi sasaran ke kawasan substrat, supaya sebahagian daripada elektron boleh memanjang ke substrat di sepanjang garis medan magnet, dengan itu meningkatkan ketumpatan plasma dan kadar pengionan gas di kawasan substrat. Tanpa mengira baki tidak seimbang, jika magnet pegun, ciri medan magnetnya menentukan kadar penggunaan sasaran umum kurang daripada 30 peratus . Medan magnet berputar boleh digunakan untuk meningkatkan penggunaan sasaran. Jika medan magnet berputar memerlukan mekanisme berputar, maka kadar sputtering dikurangkan. Medan magnet berputar kebanyakannya digunakan untuk sasaran yang besar atau berharga. Sebagai contoh, sputtering filem nipis semikonduktor. Untuk peralatan kecil dan peralatan industri am, sumber sasaran statik medan magnet digunakan secara meluas.

www.superbheater.com