Pengesanan ujian semburan garam penyaduran vakum?

Pengesanan ujian semburan garam penyaduran vakum?

Ringkasnya, ia adalah perkara biasa, dengan hakisan atmosfera yang merosakkan. Atmosfera mengandungi oksigen, kelembapan, perubahan suhu dan pelbagai bahan pencemar, dsb., dengan komponen menghakis dan faktor menghakis. Pengeluar penyaduran vakum menggunakan ujian semburan garam ini untuk mensimulasikan persekitaran menghakis sebenar untuk menilai kualiti penyaduran.

Penyaduran vakum berbanding penyejatan

 

1. Kebolehkawalan ketebalan filem yang baik dan kebolehulangan

 

2. Lekatan yang kuat antara filem dan substrat

 

3. Dapat menyediakan filem nipis kebanyakan bahan, termasuk aloi, sebatian, dll.

 

4. Lapisan filem mempunyai ketulenan dan kehalusan yang tinggi

 

5. Kadar pengumpulan adalah rendah dan peralatannya lebih kompleks

Penyaduran vakum magnetron salutan sputtering - prinsip sputtering:

 

1. Jadikan ruang mencapai keadaan vakum, biasanya dikawal pada (2~5)E-5torr

 

2. Pas Ar (argon) ke dalam ruang dan mulakan kuasa DC

 

3. Pengionan Ar: Ar ® Ar tambah tambah e-

 

4. Di bawah kesan medan elektrik, elektron (elektron) akan mempercepatkan untuk terbang ke anod (anod)

 

5. Di bawah kesan medan elektrik, Ar plus akan mempercepatkan sasaran (bahan sasaran) terbang ke katod, zarah sasaran dan elektron sekunder tersingkir, bekas mencapai permukaan substrat (substrat) untuk pertumbuhan filem, dan yang terakhir dipercepatkan ke katod dalam perjalanan untuk mempromosikan. lebih banyak pengionan.

 

6. Garis medan magnet yang diedarkan dalam arah menegak mengehadkan elektron berhampiran permukaan bahan sasaran, memanjangkan trajektori gerakannya dalam plasma, dan meningkatkan kesan penyertaannya dalam proses perlanggaran dan pengionan molekul gas.

Kebolehulangan yang baik proses penyaduran vakum

Kelebihannya ialah ia mempunyai kebolehulangan proses yang baik, ketulenan filem yang tinggi, ketebalan filem seragam dan lekatan yang baik. Tetapi tidak dapat dinafikan bahawa struktur peralatan adalah tidak kemas, dan apabila sasaran sputtering menembusi, ia akan membawa kepada penghapusan keseluruhan sasaran, yang juga merupakan salah satu kecacatannya, jadi kadar penggunaan sasaran adalah rendah.

www.superbheater.com