Peralatan penyaduran vakum magnetron memercikkan sasaran berat

Peralatan penyaduran vakum magnetron memercikkan sasaran berat

Sumber sasaran dibahagikan kepada jenis seimbang dan tidak seimbang. Sumber sasaran yang seimbang mempunyai salutan seragam, dan salutan sumber sasaran yang tidak seimbang mempunyai daya ikatan yang kuat dengan substrat. Sumber sasaran seimbang kebanyakannya digunakan untuk filem optik semikonduktor, dan sasaran tidak seimbang kebanyakannya digunakan untuk memakai filem hiasan.

Tanpa mengira keseimbangan dan bukan keseimbangan, jika magnet pegun, ciri medan magnetnya menentukan bahawa kadar penggunaan sasaran secara amnya kurang daripada 30 peratus. Untuk meningkatkan kadar penggunaan bahan sasaran, medan magnet berputar boleh digunakan. Walau bagaimanapun, medan magnet berputar memerlukan mekanisme berputar, dan kadar sputtering harus dikurangkan pada masa yang sama. Medan magnet berputar kebanyakannya digunakan untuk besar atau mahal

Sasaran berat. Seperti sputtering filem semikonduktor. Untuk peralatan kecil dan peralatan industri am, sumber sasaran statik medan magnet sering digunakan.

Ia adalah mudah untuk memercikkan logam dan aloi dengan sumber sasaran magnetron, dan pencucuhan dan percikan adalah mudah. Ini kerana sasaran (katod), plasma, dan ruang vakum bahagian terpercik boleh membentuk litar. Tetapi jika penebat sputtering seperti seramik, litar rosak.

Peralatan penyaduran vakum magnetron sputtering termasuk banyak jenis

Terdapat banyak jenis salutan vakum magnetron sputtering. Setiap satu mempunyai prinsip kerja dan objek aplikasi yang berbeza. Tetapi mereka mempunyai satu persamaan: interaksi medan magnet dengan elektron menyebabkan elektron berputar di sekeliling permukaan sasaran, dengan itu meningkatkan kebarangkalian elektron memukul gas argon untuk menghasilkan ion. tempat

Ion yang dihasilkan mengenai permukaan sasaran di bawah tindakan medan elektrik untuk memercikkan sasaran.

Dalam perkembangan beberapa dekad kebelakangan ini, magnet kekal telah diterima pakai secara beransur-ansur, dan magnet gegelung jarang digunakan.

www.superbheater.com