Penyaduran vakum tiub pemanasan elektrik Ar untuk sumber gas PVD sputtering?

Penyaduran vakum tiub pemanasan elektrik Ar untuk sumber gas PVD sputtering?

①. Gas kusam, tidak mudah untuk perubahan kimia

②. Berat berat (AMU 40), kesan percikan yang baik

③. Harga murah

Apakah perbezaan antara salutan PVD dan CVD untuk tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum dalam pemilihan aplikasi?

Berbanding dengan CVD, PVD lebih nipis. Ketebalan salutan CVD ialah 10~20μm, manakala ketebalan salutan PVD hanya kira-kira 3~5μm. Suhu pemprosesan PVD adalah kira-kira 500 darjah, manakala suhu relau CVD ialah 800 ~ 1000 darjah. .Ia boleh dilihat bahawa kerana suhu yang tinggi, CVD mempunyai keperluan rintangan suhu tinggi untuk bahan yang diproses. Kami hampir tidak melihat bahan lain selain karbida bersimen pada alat yang diproses CVD, kerana bahan pemotongan arus perdana Hanya karbida bersimen yang boleh menahan suhu setinggi itu.

Di samping itu, salutan CVD, disebabkan oleh ketebalannya yang lebih tebal dan suhu pemprosesan yang lebih tinggi, cenderung menjana tegasan tegangan pada permukaan semasa penyejukan, dengan itu membentuk retakan halus. Retakan ini mudah berkembang di bawah kesan daya luaran (contohnya: pengilangan), apabila ia meluas melalui keseluruhan salutan, salutan akan terkelupas, supaya substrat alat kehilangan perlindungan salutan. Oleh itu, alat bersalut CVD digunakan secara meluas pada sisipan pusing, kerana pusingan tertakluk kepada keseluruhan proses pemotongan. Daya pemotongan adalah seragam dan berterusan, dan rintangan haus salutan CVD disebabkan oleh ketebalan akan jelas.

Sebaliknya, pemotongan terganggu diwakili oleh pengilangan. Semasa proses pemotongan, pemotongan dan pemotongan berterusan bilah memberi kesan kepada salutan dan permukaan alat. Suhu pemprosesan PVD yang lebih rendah (kira-kira 500 darjah ) menjadikannya terbentuk semasa proses penyejukan. tegasan mampatan dan bukannya tegasan tegangan, sekali gus menghasilkan kesan menghalang pembentukan dan penyebaran keretakan. Di samping itu, disebabkan oleh ketebalan nipis salutan PVD, geometri bilah tidak banyak berubah, dan ketajaman bilah boleh dipelihara dan dikurangkan sebahagian besarnya. Secara ringkasnya, dapat dilihat bahawa PVD lebih sesuai untuk pengilangan berselang-seli dan hampir semua alat integral.

www.superbheater.com