Bahan mesin salutan vakum disejat dan diangkut ke substrat untuk pemendapan dan pembentukan filem

Bahan mesin salutan vakum disejat dan diangkut ke substrat untuk pemendapan dan pembentukan filem

Salutan penyejatan vakum adalah kaedah salutan vakum untuk memanaskan dan menyejat bahan di bawah keadaan vakum untuk menyuburkan aliran zarah sejat terus ke substrat, dan mendepositkan filem pepejal pada substrat, atau memanaskan dan menyejat bahan salutan.

Proses fizikal adalah daripada penyejatan dan pengangkutan bahan ke substrat untuk pemendapan dan pembentukan filem. Proses fizikal ialah: Menukar kepada tenaga haba melalui beberapa kaedah tenaga, memanaskan bahan penyaduran untuk menguap atau sublim, dan menjadi zarah gas dengan tenaga tertentu ({{0}}}.1~0.3eV) (atom, molekul atau kumpulan atom); meninggalkan permukaan bahan salutan, zarah gas dengan kelajuan bergerak yang besar diangkut ke permukaan substrat dalam penerbangan lurus tanpa perlanggaran yang ketara; zarah gas yang sampai ke permukaan substrat terpeluwap, nukleus dan berkembang menjadi filem fasa pepejal; komposisi Atom-atom filem menyusun semula atau mencipta ikatan kimia.

Kelemahan utama teknologi arka salutan vakum:

- Bahan sasaran adalah terhad

- Gunakan hanya logam (tanpa oksida), menghasilkan suhu penyejatan yang rendah

- Oleh kerana ketumpatan arus yang tinggi, beberapa bahan sasaran tersejat dan terpercik dalam titisan kecil

Kelebihan teknologi arka salutan vakum:

serta kadar pemendapan tinggi (~1-3 µm/j)

serta Kadar pengionan yang tinggi, membentuk salutan padat yang terikat dengan baik

ditambah dengan penyejukan Sasaran, kurang pemanasan bahan kerja bersalut, yang membolehkan pemendapan di bawah 100 darjah

ditambah Ia boleh menyejat logam pelbagai komposisi, dan komposisi sasaran pepejal yang tinggal kekal tidak berubah

ditambah Katod boleh diletakkan dalam sebarang kedudukan (mendatar, menegak, atas dan bawah), reka bentuk peranti yang fleksibel

Pergerakan arka mesin salutan vakum

Pergerakan arka dikawal oleh medan magnet. Plasma yang terbentuk oleh ion logam yang tersejat akan dimendapkan pada permukaan bahan kerja. Bahan kerja ini diputar dalam ruang vakum. Salutan yang disediakan oleh arka biasanya digunakan pada permukaan alat dan bahagian. salutan.

www.superbheater.com