Mesin Salutan Vakum Teknologi Katod Berongga

Mesin Salutan Vakum Teknologi Katod Berongga

Peralatan salutan ion berasal dari teori yang dicadangkan oleh DM Mattox pada tahun 1960-an, dan eksperimen yang sepadan bermula pada masa itu; sehingga 1971, Chamber et al. teknologi salutan ion rasuk elektron yang diterbitkan; dan teknologi penyejatan reaktif (ARE) adalah pada tahun 1972. Laporan Bunshah pada tahun 2009 menunjukkan bahawa jenis filem superhard seperti TiC dan TiN dihasilkan pada masa ini; juga pada tahun 1972, Smith dan Moley menggunakan teknologi katod berongga dalam proses salutan. Pada tahun 1980-an, penyaduran ion negara saya akhirnya mencapai tahap aplikasi perindustrian, dan proses salutan seperti penyaduran ion berbilang arka vakum dan penyaduran ion nyahcas arka muncul satu demi satu.

Mesin salutan vakum dibahagikan kepada dua jenis: penyejatan dan sputtering

Mesin salutan ion terutamanya merujuk kepada jenis salutan yang perlu dijalankan di bawah vakum tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk mesin salutan penyejatan vakum, mesin salutan ion berbilang arka vakum, mesin salutan magnetron sputtering frekuensi perantaraan vakum, perantaraan pelbagai fungsi magnetron frekuensi Sputtering mesin salutan ion komposit berbilang arka, mesin salutan optik vakum (penyejatan rasuk elektron) dan siri lain peralatan salutan vakum, idea utama dibahagikan kepada dua jenis penyejatan dan sputtering.

Pengepaman mesin salutan vakum yang tidak sekata akan menjejaskan keseragaman salutan

Pengepaman mesin salutan yang tidak rata akan menjejaskan keseragaman salutan. Adalah penting bahawa substrat itu bersih. Sebelum salutan vakum, permukaan substrat hendaklah dibersihkan dengan teliti untuk mencapai tujuan nyahcemar, penyahkotoran dan penyahhidratan bahan kerja. Pencemaran permukaan substrat disebabkan oleh pelbagai habuk, gris, pes penggilap, peluh, dsb. yang melekat pada bahagian semasa pemprosesan dan pengangkutan. Dalam persekitaran yang lembap, permukaan substrat mudah teroksida, membentuk filem oksida untuk menyerap gas. Noda ini boleh dibersihkan dengan kaedah degreasing atau kimia. Substrat yang bersih tidak boleh diletakkan terus di luar, tetapi hendaklah disimpan dalam bekas tertutup untuk mengurangkan pencemaran. Habuk akan terkumpul di dalam ruang salutan, jadi bersihkan ruang salutan, bakar dan degas, dan letakkan mesin dalam persekitaran yang bersih. Beri perhatian kepada pulangan minyak pam resapan. Terdapat banyak bahan mentah untuk salutan, seperti resin, silikon, asid silisik, polimer, dan lain-lain. Nisbah bahan bantu dan formula berbeza, dan filemnya juga berbeza.

www.superbheater.com