Toleransi Proses Pelapis Vakum

Variasi Masa Pelapis Vakum:

Keadaan pemendapan dalam ruang vakum adalah perkara biasa yang berubah mengikut masa. Semasa larian, ciri-ciri sumber penyejatan akan berubah apabila filem itu digunakan, terutamanya jika reka bentuk melibatkan pelbagai lapisan salutan, dan kecerunan terma ruang vakum juga akan meningkat jika proses mengambil masa beberapa jam. Pada masa yang sama, apabila dinding dalaman ruang vakum didepositkan dan menjadi kotor, kecekapan kerja pusingan yang berbeza secara beransur-ansur berbeza. Walaupun faktor-faktor ini beransur-ansur dan boleh diberi pampasan, ia masih harus dipertimbangkan sebagai sebahagian daripada toleransi sistem.

Pemindahan lembapan: Filem biasanya berliang, menjadikan sifatnya lebih rendah daripada bahan pukal dalam banyak aspek. Salah satunya ialah di bawah keadaan lembap, ruang mikroskopik filem dipenuhi dengan wap air dan kering apabila kelembapan relatif berkurangan. Kehadiran atau ketiadaan perubahan kelembapan

Toleransi Proses Pelapis Vakum

Ketepatan setiap ketebalan filem dalam reka bentuk dihadkan oleh ketepatan instrumen kawalan itu sendiri. Secara amnya, instrumen kawalan yang kita bicarakan ialah imbangan mikro kristal kuarza (QCM) atau monitor optik, atau kedua-duanya. Imbangan mikro kristal kuarza adalah kira-kira 2 peratus tepat, manakala monitor optik yang direka dengan baik boleh tepat kepada susunan beribu-ribu. 54=, Z.

Ketidakseragaman ketebalan filem: Tidak kira apa ketepatan monitor, ia hanya boleh mengawal ketebalan filem pada satu titik dalam ruang vakum, secara amnya kedudukan tengah pemegang bahan kerja. Sekiranya ketebalan filem di lokasi ini tidak seragam sepenuhnya, maka substrat yang jauh dari pusat tidak akan mendapat ketebalan seragam. Walaupun perisai boleh menghapuskan ketidakseragaman yang nyata dalam jangka panjang, beberapa variasi dalam ketebalan filem disebabkan oleh ketidakstabilan sumber penyejatan atau prestasi bahan filem yang berbeza, jadi hampir mustahil untuk menghapuskannya, tetapi struktur kebuk vakum adalah sangat penting. Kesan ini boleh diminimumkan dengan pemilihan sumber penyejatan yang betul.

www.superbheater.com