Sistem Sputtering Magnetron Coater Vakum

Sistem Sputtering Magnetron Coater Vakum

Dalam sistem sputtering magnetron, 100-1000 Magnet berkuasa Gauss diletakkan di belakang sasaran katod, dan ruang vakum diisi dengan gas lengai (Ar) dengan tekanan 011-10 Pa sebagai pembawa gas pelepasan. Di bawah tindakan voltan tinggi, atom Ar diionkan menjadi ion Ar tambah dan elektron. Dalam proses memecut dan terbang ke substrat, elektron dipengaruhi oleh medan magnet yang berserenjang dengan medan elektrik, yang menjadikan elektron terpesong dan terikat di kawasan plasma berhampiran dengan permukaan sasaran. Ia maju di sepanjang permukaan sasaran dalam cara sikloid, dan berlanggar dengan atom Ar secara berterusan semasa pergerakan, mengionkan sejumlah besar ion Ar tambah.

Kekerasan yang sangat tinggi dan rintangan haus penyalut vakum

1. Oleh kerana bahan salutan pada permukaan mempunyai kekerasan yang sangat tinggi dan rintangan haus, berbanding dengan karbida bersimen yang tidak bersalut, karbida bersalut bersimen membolehkan kelajuan pemotongan yang lebih tinggi, dengan itu meningkatkan kecekapan pemprosesan; Meningkatkan ketahanan alat dengan ketara pada kelajuan pemotongan yang sama.

2. Oleh kerana pekali geseran antara bahan salutan dan bahan yang akan diproses adalah kecil, daya pemotongan bilah bersalut dikurangkan ke tahap tertentu berbanding dengan bilah yang tidak bersalut.

3. Apabila bilah bersalut diproses, kualiti permukaan yang diproses adalah lebih baik.

4. Oleh kerana prestasi komprehensif yang baik, bilah bersalut mempunyai fleksibiliti yang lebih baik. Gred bilah bersalut mempunyai pelbagai aplikasi.

Pam molekul penyalut vakum dan cryopump sebagai pam utama

Vakum tanpa minyak Xiyong menggunakan pam molekul dan pam kriogenik sebagai pam utama, dan ciri-cirinya tertumpu terutamanya kerana ia boleh mengepam udara dalam jumlah yang besar secara berterusan, dan boleh mendapatkan vakum ultra tinggi yang bersih dan bebas minyak. Dan sistem mempunyai masa permulaan yang cepat dan masa berhenti pam yang singkat. Walau bagaimanapun, sistem mengepam gas berat adalah lebih cepat daripada mengepam gas ringan, dan kelajuan mengepam jenis wap air adalah agak perlahan. Apabila sejumlah besar gas melalui pam, kelajuan mengepam akan menurun dengan cepat.

www.superbheater.com