Gunakan langkah-langkah mesin salutan vakum

Gunakan langkah-langkah mesin salutan vakum

1. Hidupkan pam air dan sumber udara.

2. Hidupkan kuasa utama.

3. Hidupkan bekalan kuasa pam penyelenggaraan dan tolok vakum, dan kedudukan tolok vakum ialah V1, tunggu nilainya kurang daripada 10, dan kemudian pergi ke langkah seterusnya. Ia mengambil masa kira-kira 5 minit.

4. Hidupkan pam mekanikal, pra-pam, hidupkan kuasa pam molekul turbo, dan mulakannya. Tukar suis tolok vakum kepada kedudukan V2, dan ia akan mengambil masa kira-kira 20 minit sehingga pam kurang daripada 2.

5. Selepas bacaan pam turbomolekul mencapai 250, matikan pra-pam, buka pam hadapan dan injap vakum tinggi dan terus mengosongkan. Selepas pemindahan mencapai tahap tertentu, tolok vakum tinggi di sebelah kanan boleh dibuka untuk melihat tahap vakum. Senapang elektron tidak boleh dihidupkan sehingga vakum mencapai 2×10-3.

satu yang perlu disalut dipanggil substrat, dan bahan yang akan disalut dipanggil sasaran. Substrat dan sasaran berada dalam ruang vakum yang sama.

Salutan penyejatan secara amnya memanaskan sasaran untuk membuat komponen permukaan menguap dalam bentuk radikal atau ion. Dan ia dimendapkan pada permukaan substrat untuk membentuk filem nipis melalui proses pembentukan filem (pertumbuhan berlapis struktur-vagal seperti pulau berselerak). Untuk salutan sputtering, ia boleh difahami secara ringkas sebagai membombardir sasaran dengan elektron atau laser bertenaga tinggi, dan memercikkan komponen permukaan dalam bentuk kumpulan atom atau ion, dan akhirnya memendap pada permukaan substrat, melalui filem- proses pembentukan, dan akhirnya membentuk filem nipis.

www.superbheater.com