Tube Type Pecvd Electric Relau Digunakan dalam Industri Photovoltaic

1, Fungsi Teras: Pemendapan yang cekap dari filem nipis berprestasi tinggi
Relau pecvd tiub (plasma yang dipertingkatkan dengan pengendapan wap kimia pengendali relau tiub) adalah peralatan yang biasa digunakan dalam pembuatan sel -sel solar {0} Mekanisme berikut:
Pengoptimuman Optik: Dengan menyesuaikan ketebalan dan indeks refraktif filem nipis Sinx, menggunakan prinsip gangguan cahaya untuk mengurangkan refleksi permukaan, lebih banyak cahaya memasuki bahagian dalam bateri, dan kecekapan penukaran fotoelektrik diperbaiki dengan 1% -2% .
Passivation permukaan: Elemen hidrogen dalam SINX boleh melewati kecacatan kekisi (seperti dislokasi dan ikatan yang menggantung) pada permukaan silikon, mengurangkan penggabungan semula pembawa, dan meningkatkan voltan litar terbuka dan arus litar pintas .
Perlindungan Mekanikal: Filem ini berfungsi sebagai lapisan enkapsulasi untuk mencegah pencemaran atau kerosakan mekanikal pada wafer silikon semasa proses berikutnya .

2, Kelebihan Teknikal: Suhu Rendah, Kecekapan Tinggi, Kawalan yang tepat
Proses pemendapan suhu rendah
Teknologi PECVD menggunakan plasma untuk merangsang gas reaktif, mengurangkan suhu pemendapan kepada 400-500 darjah (CVD tradisional memerlukan melebihi 800 darjah), mengelakkan kerosakan haba kepada wafer silikon dan bahan substrat pada suhu tinggi, terutamanya yang sesuai untuk pembuatan bateri nipis dan fleksibel.
Kadar pemendapan dan keseragaman yang tinggi
Teknologi Glow Frekuensi Radio: Dengan menghasilkan plasma berkepadatan tinggi melalui medan elektrik frekuensi tinggi (seperti 13 . 56MHz), kadar tindak balas sangat bertambah baik, dan kadar pemendapan dapat mencapai 10-50 nm/min.
Kawalan Keseragaman: Mengadopsi pemakanan RF pelbagai titik, pengedaran laluan gas seragam, dan sistem kawalan suhu pintar untuk memastikan keseragaman ketebalan filem kurang daripada atau sama dengan ± 5%, memenuhi keperluan pengeluaran berskala besar .
Kepelbagaian bahan
Ia boleh mendepositkan pelbagai filem dielektrik seperti SIO ₂, Si ∝ n ₄, al ₂ o ∝, dan lain -lain ., memperluaskan ruang reka bentuk struktur bateri (seperti bateri yang disusun dan bateri belakang belakang) .
Perlindungan alam sekitar dan pemuliharaan tenaga
Teknologi suhu rendah mengurangkan penggunaan tenaga sambil mengelakkan pelepasan bahan berbahaya pada suhu tinggi, yang selaras dengan trend pembuatan hijau dalam industri photovoltaic .

3, Struktur Peralatan dan Parameter Utama
Konfigurasi biasa
Sistem pemanasan: Zon suhu tunggal atau relau rintangan zon suhu multi, dengan suhu maksimum 1200 darjah dan ketepatan kawalan suhu ± 1 darjah .
Sistem vakum: Gabungan pam molekul dan pam mekanikal, dengan tahap vakum maksimum kurang daripada atau sama dengan 10 ⁻ pa, memenuhi keperluan pemendapan filem nipis tinggi .
Bekalan Kuasa RF: Menyokong kawalan ketumpatan plasma yang tepat .
Sistem Gas: Multi Saluran Mass Flow Meter (MFC), Menyokong 1-6 Campuran Gas .
kawalan proses
Pengaturcaraan lengkung suhu: Menyokong kenaikan suhu dan program kejatuhan lebih daripada 30 segmen, menyesuaikan diri dengan keperluan proses bahan -bahan filem yang berbeza .
Kawalan Tekanan: Julat Tekanan Positif -100 kPa hingga 100kpa, menyokong tekanan rendah ke proses tekanan atmosfera .
Pemantauan pintar: Dilengkapi dengan fungsi seperti penggera terlalu panas, perlindungan overcurrent, dan pemotongan prompt untuk memastikan operasi yang stabil dari peralatan .

4, senario aplikasi dan trend pasaran
Aplikasi arus perdana
Perc Cell: Dengan mendepositkan filem laminated al ₂ o ∝/Sinx, fungsi dua bahagian belakang dan anti refleksi dicapai .
Bateri Topcon: Menggunakan pemendapan PECVD lapisan oksida terowong (SIO ₂) dan lapisan silikon polikristalin doped untuk membina saluran pengangkutan pembawa efisien .
Bateri HJT: pemendapan silikon amorf intrinsik (ia-si-: h) di antara muka silikon amorf/kristal silikon heterojunction untuk mengoptimumkan kepadatan kecacatan antara muka .