Ujian beban ketuhar troli dan pengesahan fungsional

Dalam proses ketepatan pembuatan semikonduktor, ketuhar adalah peralatan penting, dan prestasi mereka secara langsung memberi kesan kepada kualiti cip dan kecekapan pengeluaran. Untuk memastikan ketuhar semikonduktor sentiasa dalam keadaan kerja yang optimum, sila pertimbangkan dengan teliti arahan penyelenggaraan harian yang komprehensif berikut.

1. Pembersihan yang mendalam untuk mengelakkan risiko pencemaran

Pembersihan Dalaman: Selepas setiap penggunaan, tunggu ketuhar untuk sepenuhnya sejuk dan kemudian lap pedalaman dengan debu - kain percuma dan pembersih khusus. Pengeluaran semikonduktor memerlukan piawaian kebersihan yang sangat tinggi, jadi memberi perhatian khusus kepada sudut dan celah apabila pembersihan untuk mengelakkan zarah daripada mengumpul dan mencemarkan cip. Untuk noda yang degil, elakkan menggosok keras dan sebaliknya gunakan detergen ringan untuk menghapuskan berulang kali. Bilas dengan air berair dan kering dengan teliti selepas pembersihan.

Pembersihan luaran: Secara kerap mengelap ketuhar luaran dengan kain yang bersih dan lembap untuk mengeluarkan debu dan noda. Elakkan menggunakan pembersih yang menghakis untuk mengelakkan kerosakan pada salutan luar dan berkompromi dengan estetika peralatan dan sifat pelindung. Juga, periksa persekitaran peralatan untuk memastikan tiada pengumpulan habuk dan mengekalkan pengudaraan yang baik.

2. Pemeriksaan dan penyelenggaraan terperinci komponen utama

Sistem Pemanasan: Periksa elemen pemanasan mingguan untuk tanda -tanda pengoksidaan dan kerosakan. Sekiranya anda melihat sebarang bintik hitam atau retak di permukaan tiub pemanasan, gantikannya dengan segera untuk mengelakkan pemanasan yang tidak sekata yang boleh menjejaskan pengeringan cip. Di samping itu, periksa terminal sistem pemanasan untuk sambungan longgar untuk memastikan sambungan elektrik yang stabil dan mencegah kerosakan atau bahaya keselamatan yang disebabkan oleh hubungan yang lemah.

Fan dan Air Duct: Secara kerap periksa operasi kipas, dengar sebarang bunyi yang luar biasa, dan periksa bilah kipas untuk ubah bentuk atau pengumpulan habuk. Pengumpulan habuk boleh menjejaskan kecekapan peredaran udara panas dan membawa kepada suhu yang tidak rata di dalam ruang. Berhati -hati membersihkan bilah dan pedalaman kipas dengan udara termampat. Selain itu, periksa saluran udara untuk aliran yang tidak terhalang dan keluarkan sebarang serpihan untuk memastikan peredaran udara panas dan efisien di dalam ruang.

Jalur pengedap: ketuhar semikonduktor memerlukan pengedap yang ketat. Semak jalur pengedap pintu setiap hari untuk penuaan, ubah bentuk, atau kerosakan. Keretakan atau kehilangan keanjalan boleh menyebabkan suhu dan kelembapan yang tidak stabil di dalam ruang dan mungkin juga memperkenalkan bahan cemar. Gantikan jalur dengan segera untuk memastikan meterai yang baik.

Iii. Penentukuran yang tepat untuk memastikan parameter yang stabil

Penentukuran suhu dan kelembapan: Gunakan suhu ketepatan dan kelembapan yang tinggi - untuk menentukur suhu dalaman dan kelembapan dalaman ketuhar. Pengeluaran semikonduktor memerlukan ketepatan suhu dan kelembapan yang sangat tinggi, dan bahkan sisihan yang sedikit dapat mempengaruhi prestasi cip. Semasa penentukuran, jika nilai suhu dan kelembapan yang dipaparkan menyimpang dari nilai sebenar di luar julat yang dibenarkan, parameter kawalan suhu dan kelembapan ketuhar mesti diselaraskan dengan segera, dan data penentukuran mesti direkodkan untuk analisis dan kebolehkesanan berikutnya.

Pemeriksaan Sistem Kawalan: Secara kerap memeriksa sistem kawalan ketuhar, termasuk komponen seperti pengawal suhu dan pemasa, untuk berfungsi dengan baik. Uji kepekaan dan ketepatan setiap butang kawalan dan paparan untuk memastikan pengendali dapat menetapkan dan memantau parameter operasi ketuhar dengan tepat. Sekiranya sebarang keabnormalan dikesan, hubungi juruteknik profesional dengan segera untuk pembaikan dan debugging.

Iv. Penyataan semula dan memulakan semula penyelenggaraan yang diseragamkan

Long - istilah penolakan: Jika ketuhar semikonduktor perlu dibatalkan untuk tempoh yang panjang, bersih dan keringkan bahagian dalam dan cabut bekalan kuasa. Untuk mengelakkan habuk dan kelembapan dari memasuki, tutup ketuhar dengan ketat dengan penutup habuk. Secara berkala (mingguan disyorkan) kuasa untuk 1 - 2 jam untuk mengekalkan prestasi stabil komponen elektrik dalaman dan mencegah kerosakan akibat ketidakaktifan jangka panjang.

Commissioning: Sebelum menyusun semula ketuhar yang telah dibatalkan untuk tempoh yang panjang, periksa semua komponen. Ini termasuk pembersihan pedalaman sekali lagi, memeriksa sambungan elektrik, menguji sistem pemanasan dan operasi kipas, dan sebagainya. Jalankan unit tanpa beban untuk tempoh masa untuk memerhatikan sama ada kawalan suhu dan kelembapan adalah normal. Hanya selepas mengesahkan bahawa tiada keabnormalan boleh digunakan.