Mesin salutan vakum mesti digabungkan dengan pelbagai pam yang berbeza untuk berfungsi antara satu sama lain

Mesin salutan vakum mesti digabungkan dengan pelbagai pam yang berbeza untuk berfungsi antara satu sama lain

Apabila memilih pam vakum, pertama sekali, perhatikan sama ada getaran yang dihasilkan oleh pam vakum semasa operasi mempunyai kesan ke atas proses dan alam sekitar. Jika proses terjejas, langkah anti-getaran perlu diambil atau pam vakum lain harus dipilih. Apabila memilih, anda perlu mengetahui komposisi gas yang akan dipam. Jika pam terpilih diperlukan, satu pam mungkin tidak mencukupi untuk memenuhi keperluan, dan pelbagai pam yang berbeza mesti digabungkan untuk berfungsi bersama. Jika salutan peralatan salutan vakum tidak memerlukan minyak, adalah perlu untuk Pilih pam bebas minyak.

Harga dan kos penyelenggaraan pam vakum juga merupakan salah satu perkara penting yang kami pertimbangkan.

Penyejukan salutan vakum diperlukan untuk semua sumber (magnetron, berbilang arka, ionik)

Sputtering reaktif magnetron bagi penebat kelihatan mudah, tetapi operasi sebenar adalah sukar. Masalah utama ialah tindak balas berlaku bukan sahaja pada permukaan bahagian, tetapi juga pada anod, permukaan ruang vakum, dan permukaan sumber sasaran. Dengan itu menyebabkan pemadaman api, sumber sasaran dan pengarkaan permukaan bahan kerja dan sebagainya. Teknologi sumber sasaran berkembar yang dicipta oleh Leybold di Jerman menyelesaikan masalah ini dengan baik. Prinsipnya ialah sepasang sumber sasaran adalah katod dan anod antara satu sama lain, dengan itu menghapuskan pengoksidaan atau nitridasi permukaan anod. Penyejukan diperlukan untuk semua sumber (magnetron, multi-arka, ion), kerana sebahagian besar tenaga ditukar kepada haba. Jika tiada penyejukan atau penyejukan tidak mencukupi, haba ini akan menjadikan suhu sumber sasaran mencapai lebih daripada 1,000 darjah dan mencairkan keseluruhan sumber sasaran.

www.superbheater.com