Aspek utama relau kristal tunggal yang perlu dikawal

Aspek utama relau kristal tunggal yang perlu dikawal

 

1. Diameter kristal (saiz)

2. Suhu (kawalan kuasa)

3. Bahan mentah (bahan silikon)

4. Kadar kebocoran, kualiti argon, dll.

Bahan relau kristal tunggal:

 

Selepas bahan siap, sahkan sama ada terdapat bahan silikon yang tidak cair pada dinding dalam pijar. Sekiranya terdapat bahan silikon yang tidak cair, perlanggaran dengan silikon yang tidak cair apabila perisai haba jatuh akan menyebabkan turun naik paras cecair dalam pijar dan menjejaskan pertumbuhan rod silikon.

Ventilasi berulang kali dengan gas Ar dan kosongkan proses ini untuk mengalirkan oksigen dalam badan relau untuk mengelakkan baki oksigen

Mempengaruhi kandungan oksigen rod silikon monohabluran

Proses relau kristal tunggal Czochralski:

 

Memuat → Vakum → Peleburan → Kristal benih dan gabungan silikon cair → Kristal benih → Tetapan bahu → Putaran bahu → Diameter yang sama → Berakhir

Sistem kawalan pemacu relau kristal tunggal:

 

Sistem penghantaran termasuk kenaikan kristal, pusingan kristal, kenaikan kuali, pusingan kuali, secara amnya menggunakan motor takometer dan pemacu elektrik

Kaedah mesin sepaksi, keluarkan voltan isyarat perubahan kelajuan, dan voltan isyarat kelajuan dengan a

Voltan malar agak tebal, dan voltan pemanduan motor pemanduan dikawal oleh zon penguatan untuk mencapai kestabilan

Tujuan kelajuan tetap.

Sistem kawalan suhu relau kristal tunggal:

 

Gunakan gabungan maklum balas kuasa dan maklum balas suhu untuk mengawal suhu

Sistem medan haba relau kristal tunggal:

 

Sistem medan haba termasuk pemanas grafit, mangkuk pijar grafit, penutup penebat terasa grafit-karbon, penutup penebat grafit dan elektrod grafit.

Sistem gas relau kristal tunggal:

 

Gas Ar yang masuk bukan sahaja bertindak sebagai medium pemindahan haba, tetapi juga menghilangkan SiO dan CO yang meruap dalam badan relau.

Menunggu gas

Sistem vakum relau kristal tunggal:

 

Selepas menghantar gas Ar ke dalam badan relau, gunakan pam vakum untuk mengosongkan, dan ulangi proses ini untuk mengalirkan oksigen dalam badan relau.

Elakkan sisa oksigen daripada menjejaskan kandungan oksigen batang silikon kristal tunggal.

www.superbheater.com