Bahan katod tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum berkaitan dengan bentuk, tekanan jenis gas, dsb.

Bahan katod tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum berkaitan dengan bentuk, tekanan jenis gas, dsb.

Zarah bercas dengan berpuluh-puluh volt elektron atau tenaga kinetik yang lebih tinggi membedil permukaan bahan dan memercikkannya ke dalam fasa gas, yang boleh digunakan untuk mengetsa dan menyalut. Bilangan atom terpercik oleh ion kejadian dipanggil hasil sputtering. Lebih tinggi hasil, lebih cepat kelajuan sputtering. Cu, Au, Ag adalah yang tertinggi, dan Ti, Mo, Ta, W adalah yang paling rendah. Secara amnya 0.1-10 atom/ion. Ion boleh dihasilkan oleh nyahcas cahaya DC. Pada vakum 10-1-10Pa, voltan tinggi dikenakan antara dua kutub untuk menjana nyahcas. Ion positif akan mengebom sasaran bercas negatif dan memercikkan sasaran, yang akan disalut pada objek yang akan disadur. . Ketumpatan semasa nyahcas cahaya biasa (glowdischarge) adalah berkaitan dengan bahan dan bentuk katod, tekanan jenis gas dan sebagainya. Ia harus disimpan sestabil mungkin semasa sputtering. Mana-mana bahan boleh terpercik, walaupun bahan takat lebur yang tinggi mudah terpercik, tetapi frekuensi radio (RF) atau nadi (nadi) sputtering diperlukan untuk sasaran bukan konduktor; dan disebabkan kekonduksian yang lemah, kuasa dan kelajuan sputtering adalah agak tinggi. rendah. Kuasa percikan logam boleh mencapai 10W/cm2, bukan logam<5W/cm2.

Sputtering diod: Sasaran ialah katod, bahan kerja yang akan disadur dan kerangka bahan kerja adalah anod, dan tekanan gas (Ar) adalah kira-kira beberapa Pa atau lebih tinggi untuk mendapatkan kadar penyaduran yang lebih tinggi.

Langkah dan fungsi utama tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum

(1) Pembersihan: Keluarkan kotoran dan cap jari yang tertinggal dalam proses penyaduran dan pengacuan plastik, basuh dengan agen alkali, meneutralkannya dengan rendaman asid dan basuh dengan air.

(2) Rawatan pelarut: Buat permukaan plastik basah supaya ia boleh bertindak dengan pengawal selia dalam langkah seterusnya.

(3) Rawatan pelarasan: Kasar permukaan plastik ke dalam lubang cekung terkunci dalam supaya salutan tidak mudah terkelupas, juga dikenali sebagai pengakasan kimia.

(4) Pemekaan: Ejen penurun diserap pada permukaan, yang biasa digunakan atau sebatian timah lain, iaitu, ion Sn^ tambah tambah yang terjerap pada permukaan plastik mempunyai permukaan pengurangan.

(5) Nukleasi: Bahan pemangkin seperti emas terjerap pada permukaan tersensitisasi (reduktif), dan kemudian dinukleuskan ke dalam biji logam pemangkin dengan pengurangan, dan kemudian logam itu boleh disadur tanpa elektro.

www.superbheater.com