Sputtering reaktif untuk tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum digunakan secara meluas untuk mendepositkan filem kompaun

Sputtering reaktif untuk tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum digunakan secara meluas untuk mendepositkan filem kompaun

 

Perkembangan kejuruteraan permukaan moden semakin memerlukan penggunaan pelbagai filem kompaun, dan teknologi percikan magnetron reaktif adalah salah satu cara utama untuk mendepositkan filem kompaun. Untuk mendepositkan filem kompaun dengan berbilang komponen, bahan sasaran yang diperbuat daripada bahan kompaun boleh digunakan untuk pemendapan sputtering, atau apabila memercikkan sasaran logam tulen atau aloi, gas reaktif tertentu, seperti oksigen dan nitrogen, boleh diperkenalkan untuk bertindak balas dan memendapkan kompaun filem. Ini dipanggil sputtering reaktif. Biasanya sasaran logam tulen dan gas reaktif mudah diperolehi ketulenan tinggi, jadi sputtering reaktif digunakan secara meluas untuk mendepositkan filem kompaun.

Kelebihan penyaduran vakum salutan ion tiub pemanasan elektrik

 

kelebihan

 

kadar pemendapan yang tinggi

 

filem padat

 

Kebezaan yang baik, keupayaan yang kuat untuk menutup permukaan yang kompleks

 

Kebaikan dan keburukan sputtering reaktif untuk tiub pemanasan elektrik penyaduran vakum

 

(1) Reaksi Bahan sasaran (sasaran unsur tunggal atau sasaran berbilang unsur) dan gas reaktif (oksigen, nitrogen, hidrokarbon, dll.) yang digunakan dalam percikan magnetron adalah berketulenan tinggi, yang sesuai untuk penyediaan ketulenan tinggi filem kompaun.

 

(2) Dengan melaraskan parameter proses dalam sputtering magnetron reaktif, filem kompaun stoikiometri atau bukan stoikiometri boleh disediakan, dan sifat filem boleh dikawal dengan melaraskan komposisi filem itu.

 

(3) Semasa proses pemendapan magnetron sputtering reaktif, suhu substrat adalah agak kecil, dan substrat biasanya tidak perlu dipanaskan pada suhu tinggi semasa proses pembentukan filem, jadi terdapat lebih sedikit sekatan pada bahan substrat.

 

(4) Sputtering magnetron reaktif sesuai untuk penyediaan filem nipis seragam kawasan besar, dan boleh merealisasikan pengeluaran perindustrian keluaran tahunan mesin tunggal berjuta-juta meter persegi salutan.

 

kelemahan

 

Terdedah kepada keracunan sasaran, kehilangan anod dan masalah lain

www.superbheater.com