Prosedur operasi mesin salutan vakum

Prosedur operasi mesin salutan vakum

 

① Periksa sama ada setiap suis kawalan operasi mesin salutan vakum berada dalam kedudukan "mati".

 

② Hidupkan suis kuasa utama, dan peralatan dihidupkan.

 

③ Tarik keluar injap tekanan rendah. Buka injap inflasi, selepas bunyi aliran udara tidak dapat didengari, mulakan injap loceng, dan loceng naik.

 

④ Pasang dan betulkan pemanas lingkaran tungsten. Betulkan filem PVDF dan penutup aluminium pada cakera berputar. Masukkan wayar aluminium ke dalam pemanas heliks. Bersihkan semua bahagian balang loceng untuk memastikan tiada kekotoran.

 

⑤ Jatuhkan balang loceng.

 

⑥ Mulakan pam mekanikal vakum.

Mesin Salutan Vakum Salutan Sputtering

 

Terdapat banyak jenis salutan sputtering. Secara umumnya, perbezaan dari salutan sejatan ialah kadar sputtering akan menjadi salah satu parameter utama.

 

Untuk salutan sputtering laser pld dalam salutan sputtering, keseragaman komposisi mudah dikekalkan, tetapi keseragaman ketebalan pada skala atom agak lemah (kerana ia adalah sputtering nadi), dan kawalan pertumbuhan orientasi kristal (tepi luar) juga agak umum.

Keseragaman kristal mesin salutan vakum:

 

1. Padanan kekisi

 

2. suhu substrat

 

3. Kadar penyejatan

Keseragaman komponen mesin salutan vakum:

 

Keseragaman komponen salutan penyejatan tidak mudah dijamin, dan faktor khusus yang boleh diselaraskan adalah sama seperti di atas, tetapi disebabkan oleh batasan prinsip, keseragaman komponen salutan penyejatan tidak baik. untuk salutan komponen bukan tunggal.

Keseragaman ketebalan penyalut vakum bergantung pada:

 

1. Tahap padanan kekisi antara bahan substrat dan bahan sasaran

 

2. Suhu permukaan substrat

 

3. Kuasa penyejatan, kadar

 

4. Ijazah vakum

 

5. Masa salutan dan ketebalan.

www.superbheater.com