Platform kenderaan penyaduran elektrik alih pelbagai bahagian untuk sistem pemendapan wap kimia penyaduran tiub elektroterma

Platform kenderaan penyaduran elektrik alih pelbagai bahagian untuk sistem pemendapan wap kimia penyaduran tiub elektroterma

Platform penyaduran elektrik alih berbilang keping untuk sistem pemendapan wap kimia digunakan untuk memasang berbilang substrat untuk disadur elektrik, termasuk bingkai, tempat duduk galas berbilang yang disusun pada bingkai, unit plat elektrod yang disusun pada tempat duduk galas dan penutup atas penebat yang disusun. pada unit plat elektrod. Dengan mengalihkan platform kenderaan penyaduran elektrik alih berbilang keping dari bahagian luar sistem pemendapan wap kimia dan menjalankan operasi pemanasan bebas terlebih dahulu, unit plat elektrod dan substrat yang akan disadur ditetapkan pada platform kenderaan penyaduran elektrik alih pelbagai keping boleh dipanaskan secara seragam , dan masalah pemanasan tidak sekata dan pemanasan perlahan dalam proses pemanasan sebelumnya dalam sistem pemendapan wap kimia boleh diperbaiki. Oleh itu, hasil penyaduran elektrik boleh dipertingkatkan Kesan memendekkan masa pemanasan untuk mengurangkan kos operasi keseluruhan.

Kaedah untuk penyaduran kuprum dalam peranti semikonduktor, yang terdiri daripada langkah-langkah: meletakkan substrat dalam peranti penyaduran elektrik; Sediakan arus penyaduran pertama untuk melakukan rawatan penyaduran pertama pada substrat; Sediakan arus penyaduran kedua untuk melakukan rawatan penyaduran kedua pada substrat, dan arus penyaduran kedua lebih besar daripada arus penyaduran pertama; Sediakan arus penyaduran ketiga untuk melakukan rawatan penyaduran ketiga pada substrat, dan arus penyaduran ketiga lebih besar daripada arus penyaduran kedua; Sediakan arus penyaduran keempat untuk melakukan rawatan penyaduran keempat pada substrat, dan arus penyaduran keempat lebih besar daripada arus penyaduran ketiga. Kaedah penyaduran kuprum ciptaan ini menggunakan kaedah penyaduran empat langkah, yang mengambil kira kedua-dua keperluan untuk kualiti pengisian dan kecekapan pengeluaran.

Www.superbheater.com