Parameter Pelarasan Sputtering Magnetron Pelapis Vakum

Parameter Pelarasan Sputtering Magnetron Pelapis Vakum

Aplikasi luas peralatan salutan sputtering magnetron ditentukan oleh ciri-ciri teknologi, yang boleh diringkaskan seperti berikut: pelbagai bahan yang boleh disediakan menjadi sasaran boleh digunakan sebagai bahan filem nipis, termasuk pelbagai logam, semikonduktor, bahan bahan feromagnetik, serta oksida penebat, seramik, polimer, dsb.

Di samping itu, parameter pelarasan sputtering magnetron boleh menala prestasi filem, terutamanya sesuai untuk salutan kawasan besar, dan kawasan pemendapan lebih seragam.

Pelapis vakum magnetron sputtering impedans plasma adalah rendah

Peralatan salutan sputtering magnetron boleh menyediakan pelbagai filem nipis, filem nipis dengan fungsi yang berbeza, dan juga boleh mendepositkan campuran dan filem nipis kompaun dengan komponen campuran; impedans plasma sputtering magnetron adalah rendah, mengakibatkan arus nyahcas yang tinggi, pada voltan kira-kira 500V Arus nyahcas boleh dari 1A hingga 100A (bergantung kepada panjang katod); kadar pembentukan filem adalah tinggi, dan kadar pemendapan boleh diubah daripada 1nm/s kepada 10nm/s; ketekalan pembentukan filem adalah baik, walaupun dalam katod beberapa meter panjang Dalam kes sputtering, konsistensi lapisan filem masih boleh dipastikan; kenaikan suhu substrat adalah rendah; tenaga zarah yang terpercik adalah kira-kira berpuluh-puluh volt elektron, pembentukan filem agak padat, dan tapak filem terikat dengan baik.

Suhu pemanasan peralatan mesin salutan vakum terlalu tinggi:

Oleh kerana kuasa pemanas pam resapan tidak sepadan dengan kuasa undian, ia terlalu tinggi, mengakibatkan sejumlah besar stim, yang boleh menyebabkan pulangan minyak, dan ia boleh diselesaikan dengan menggantikan wayar relau elektrik.

Saluran air penyejuk mesin salutan vakum tidak lancar atau tekanan air tidak mencukupi:

Akibatnya, kapasiti penyejukan berkurangan, bahagian atas pam resapan menjadi panas, dan wap minyak tidak boleh dicairkan dengan baik. Penyelesaiannya adalah untuk menyambungkan paip masuk pam resapan dengan sumber udara 4mpa untuk meniup skala, dan paip keluar juga ditiup pada 4mpa. Jika skala sangat tebal dan padat, asid hidroklorik cair boleh diperkenalkan. Atau gantikan pam resapan.

www.superbheater.com