Untuk memastikan keseragaman lapisan filem dalam sistem penggulungan mesin salutan vakum

Untuk memastikan keseragaman lapisan filem dalam sistem penggulungan mesin salutan vakum

Dalam sistem penggulungan, untuk memastikan keseragaman lapisan filem, kelajuan linear sistem penggulungan mestilah malar; untuk memastikan kerataan substrat dan bukan sisihan penggulungan, ketegangan substrat dalam sistem penggulungan mestilah malar. Dan mempunyai peranti meratakan substrat. Mesti ada plat penyekat dan alat penyejuk air di bahagian salutan. Dalam mekanisme penyusuan berterusan bahan penyejatan, kelajuan penyusuan mestilah malar dan boleh laras.

Kesinambungan Proses Salutan Pelapis Vakum

Untuk mengekalkan kesinambungan proses salutan semasa kitaran kerja, bahan salutan yang mencukupi (bahan terdeposit) diperlukan. Dalam penyaduran gegelung penyejatan, mangkuk pijar yang cukup besar diperlukan, atau mekanisme penyusuan berterusan; dalam magnetron sputtering, sasaran yang cukup besar diperlukan. Untuk mempunyai persekitaran vakum, peranti di atas hendaklah diletakkan di dalam bekas vakum tertutup, dan unit vakum perlu dipasang untuk mengekalkan kestabilan darjah vakum semasa kitaran kerja.

Penyalut vakum membuka dan gulung semula

Substrat disalut dengan filem semasa melonggarkan dan gulung semula. Bahagian salutan adalah bahagian kerja peralatan salutan penggulungan vakum. Ia terletak di antara gulungan pengambilan dan pelepasan substrat. Prinsip kerja bahagian kerja boleh menjadi mana-mana penyejatan rintangan yang disebutkan di atas, penyejatan aruhan, penyejatan rasuk elektron, magnetron sputtering atau kaedah salutan vakum yang lain.

Pertama, substrat yang akan disadur adalah substrat yang fleksibel, iaitu, ia mempunyai kebolehgulungan;

Kedua, proses salutan adalah berterusan, iaitu salutan dijalankan secara berterusan dalam kitaran kerja;

Ketiga, proses salutan sentiasa dijalankan dalam persekitaran vakum yang tinggi.

www.superbheater.com