Penjelasan Teknologi Penentukuran Suhu untuk Termometer Relau Penyepuhlindapan Suhu Tinggi

Dilaporkan bahawa relau penyepuhlindapan suhu tinggi menggunakan sistem kawalan gelung tertutup yang terdiri daripada pengawal suhu PLD digital dipercepatkan, termokopel, pyrometer dan sumber haba untuk mengawal suhu dengan betul. Dengan kawalan kolaboratif lampu halogen di kawasan yang berbeza, perbezaan suhu di setiap rantau boleh diberi pampasan semasa proses kawalan suhu, mengekalkan suhu kawasan yang berbeza pada substrat tidak berubah. Oleh kerana pemasangannya di bahagian bawah rongga, pyrometer hanya boleh menerima sinaran dari belakang substrat dan tidak boleh menerima sinaran dari lampu. Oleh itu, pyrometer boleh mengukur suhu substrat dengan tepat. Prinsip penentukuran suhu pyrometer ini adalah seperti berikut:
1. Pengenalan kepada Pyrometer:
Pirometer yang diperkenalkan dalam artikel ini ialah pyrometer optik sinaran haba. Apabila pyrometer menerima sinaran inframerah daripada objek yang diukur, isyarat optik ditapis, fotoelektrik ditukar, dan dikuatkan untuk menjadi isyarat analog, yang kemudiannya dihantar ke modul litar antara muka isyarat sensor. Modul ini melakukan penukaran A/D pada isyarat dan menukarkannya kepada isyarat digital yang boleh dikenali oleh komputer. Isyarat digital yang disalurkan semula ke komputer dirujuk sebagai nilai maklum balas pyrometer dalam teks berikut.
2. Jadual penentukuran suhu:
Menurut undang-undang yang berkaitan, suhu sesuatu objek adalah berkaitan dengan sinaran dan emisitiviti spektrumnya. Untuk relau penyepuhlindapan suhu tinggi, jumlah sinaran yang diterima oleh pyrometer bergantung terutamanya kepada faktor seperti bahan substrat, doping, lapisan oksida semula jadi pada permukaan dan suhu substrat. Untuk jenis substrat yang sama (iaitu substrat dengan bahan yang sama, doping, dan lapisan oksida semulajadi permukaan), jumlah sinaran yang diterima oleh pirometer adalah berkaitan dengan suhu substrat. Oleh itu, untuk jenis substrat yang sama, nilai maklum balas pirometer sepadan satu-dengan-satu dengan suhu substrat. Surat-menyurat ini membentuk data penentukuran suhu, dan jadual penentukuran suhu digunakan untuk menyimpan data perhubungan antara suhu substrat berbilang dan nilai maklum balas daripada pyrometer. Suhu yang berbeza sepadan dengan nilai maklum balas yang berbeza bagi pyrometer. Komputer relau penyepuhlindapan suhu tinggi boleh mengira suhu sebenar substrat berdasarkan maklum balas nilai isyarat daripada pyrometer dan jadual penentukuran suhu.