Pemendapan filem nipis pada substrat dengan kaedah sputtering penyalut vakum

Pemendapan filem nipis pada substrat dengan kaedah sputtering penyalut vakum

Sputtering ialah fenomena di mana zarah bercas (biasanya ion positif gas lengai) digunakan untuk membedil permukaan pepejal (selepas ini dirujuk sebagai sasaran), dengan itu menyebabkan atom (atau molekul) pada permukaan sasaran terlepas daripada ia. Fenomena ini ditemui oleh Grove pada tahun 1842 semasa mengkaji secara eksperimen masalah kakisan katod, apabila bahan katod dipindahkan ke dinding tiub vakum. Pelapis vakum menggunakan kaedah sputtering ini untuk mendepositkan filem nipis pada substrat telah diperkenalkan pada tahun 1877.

Klasifikasi dan skop penggunaan mesin salutan vakum

Biasanya kaedah penyahgas bahan kerja yang kami gunakan adalah membakar, dan gas dan lembapan dalam bahan kerja dilepaskan melalui pemanasan. Sebelum menyalut, bahan kerja dipanaskan semasa mengepam. Bersama-sama dengan gas dalam ruang vakum, ia dipam keluar oleh pam vakum.

Langkah penyahgasan yang berbeza diambil untuk bahan kerja yang berbeza untuk mengawal pelepasan gas dan lembapan di dalam bahan kerja dengan berkesan, dan meningkatkan kestabilan dan keseragaman salutan. Klasifikasi dan skop penggunaan mesin salutan vakum Mesin salutan vakum terutamanya merujuk kepada jenis salutan yang perlu dijalankan di bawah vakum tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk penyejatan ion vakum, magnetron sputtering, epitaksi rasuk molekul MBE, pemendapan sputtering laser PLD Dan macam-macam lagi.

Kebarangkalian mesin salutan vakum bergantung pada sifat fizikal bahan kerja itu sendiri

Sesetengah bahan kerja mempunyai banyak gas, lembapan, dsb. dalam diri mereka sendiri. Bahan-bahan ini akan dilepaskan ke dalam ruang vakum apabila peralatan dipanaskan, mengurangkan tahap vakum. Lebih-lebih lagi, sesetengah gas mempunyai komponen toksik, yang secara langsung merosakkan kebuk vakum. Struktur mekanikal dalaman menyebabkan peralatan tidak berfungsi dengan baik. Di samping itu, semasa proses salutan, disebabkan oleh pemanasan dan pengembangan gas dalam bahan kerja, mudah untuk memecahkan filem bersalut. Sudah tentu, kebarangkalian keadaan ini bergantung kepada sifat fizikal bahan kerja itu sendiri, seperti plastik yang mudah berkembang, kebarangkaliannya agak tinggi. Untuk bahan keras seperti logam, kebarangkalian adalah agak rendah, tetapi ia tidak boleh diabaikan, jadi penyahgasan bahan kerja sangat diperlukan.

Keadaan vakum ialah persekitaran yang menyokong operasi mesin salutan vakum, terutamanya peralatan yang memerlukan tahap vakum yang tinggi. Biasanya kita perlu mencapai tahap vakum yang tinggi. Peranan sistem pengekstrakan udara sangat diperlukan, tetapi sebagai tambahan kepada sistem pengekstrakan udara, dalam peralatan salutan vakum Dalam proses operasi, satu lagi titik ialah penyahgasan bahan kerja.

www.superbheater.com