Sebarang bahan boleh terpercik pada mesin salutan vakum

Sebarang bahan boleh terpercik pada mesin salutan vakum

Ketumpatan semasa nyahcas cahaya biasa adalah berkaitan dengan bahan dan bentuk katod, tekanan gas dan sebagainya. Ia harus disimpan sestabil mungkin apabila terpercik. Mana-mana bahan boleh terpercik, malah bahan takat lebur yang tinggi boleh dengan mudah terpercik, tetapi frekuensi radio (RF) atau nadi (nadi) sputtering diperlukan untuk sasaran bukan konduktor; dan disebabkan kekonduksian yang lemah, kuasa dan kelajuan sputtering adalah agak tinggi. rendah. Kuasa percikan logam sehingga 10W/cm2, bukan logam<5W/cm2

Goresan dan salutan pelapisan vakum

Permukaan bahan dibombardir dengan zarah bercas dengan puluhan volt elektron atau tenaga kinetik yang lebih tinggi, supaya ia terpercik keluar ke dalam fasa gas, yang boleh digunakan untuk mengetsa dan menyalut. Bilangan atom yang terpercik oleh ion tuju dipanggil hasil sputtering. Lebih tinggi hasil, lebih cepat kelajuan sputtering. Cu, Au, Ag adalah yang tertinggi, dan Ti, Mo, Ta, W adalah yang paling rendah. Secara amnya 0.1-10 atom/ion. Ion-ion boleh menjana nyahcas cahaya DC. Pada tahap vakum 10-1-10 Pa, voltan tinggi dikenakan antara dua kutub untuk menjana nyahcas. Ion positif akan mengebom sasaran bercas negatif dan memercikkan sasaran, dan disadur sehingga ia disadur. pada perkara.

Penyelenggaraan mesin salutan vakum

1. Ia adalah perlu untuk menguji bahagian prestasi pengedap gas dalam ruang vakum untuk memastikan bahawa sesak udara dapat memenuhi keperluan.

2. Kemudian periksa saiz, bentuk dan kelajuan kebocoran udara kebocoran salutan vakum, analisis penyelesaian dan laksanakannya.

3. Adalah perlu untuk mengesahkan sama ada kebocoran penyaduran vakum adalah benar atau palsu, kerana selepas bahan bahan kerja dipanaskan, sejumlah gas akan dijana pada darjah yang berbeza, dan kadang-kadang ia disalah anggap sebagai gas yang mengalir masuk dari luar. Ini adalah kebocoran palsu. Kami Untuk menolak perkara ini.

4. Tentukan kadar pengesanan kebocoran minimum dan sensitiviti pengesanan kebocoran bagi instrumen pengesanan, mengesan kebocoran udara dalam julat terbesar, elakkan beberapa kebocoran diabaikan, dan meningkatkan ketepatan pengesanan kebocoran.

5. Akhir sekali, adalah perlu untuk mengelakkan penyumbatan kebocoran penyaduran vakum. Kadang-kadang disebabkan oleh kesilapan operasi, penyaduran vakum sedang dalam proses mengambil kebocoran, dan beberapa habuk atau cecair akan menyekat kebocoran, memikirkan bahawa tiada kebocoran di lokasi itu, tetapi apabila ini Tersumbat mungkin tidak menyekat kebocoran disebabkan oleh peningkatan dalam perbezaan tekanan antara bahagian dalam dan luar, tetapi kebocoran udara masih akan wujud.

www.superbheater.com