Pendekatan inovatif untuk salutan ion pada salutan vakum

Pendekatan inovatif untuk salutan ion pada salutan vakum

Kaedah inovatif salutan ion berbilang arka peralatan salutan vakum, salutan ion berbilang arka yang dipanggil adalah untuk meletakkan bahan yang akan disadur dan substrat yang akan disadur di dalam bilik. Dan terbang sputtering ke permukaan substrat bersalut untuk terpeluwap dan membentuk filem.

Kaedah salutan ion berbilang arka mempunyai banyak kelebihan dalam pembentukan filem di bawah keadaan, yang boleh mengurangkan perlanggaran antara atom dan molekul bahan penyejatan dalam proses terbang ke substrat, dan mengurangkan tindak balas kimia antara molekul aktif dalam gas dan bahan sumber penyejatan (Seperti pengoksidaan, dll.), dan mengurangkan jumlah molekul gas yang memasuki filem menjadi kekotoran semasa proses pembentukan filem, dengan itu meningkatkan ketumpatan, ketulenan, kadar pemendapan dan lekatan lapisan filem kepada substrat.

Proses pengesanan kebocoran vakum mesin salutan vakum

Pertama, adalah perlu untuk mengesahkan sama ada kebocoran itu adalah kebocoran maya atau kebocoran sebenar, kerana bahan bahan kerja akan menghasilkan gas ke tahap yang berbeza-beza selepas pemanasan, yang mungkin disalah anggap sebagai gas yang mengalir masuk dari luar, yang merupakan kebocoran maya. , dan keadaan ini mesti diketepikan. .

Kedua, uji sesak gas ruang vakum untuk memastikan sesak gas memenuhi keperluan.

Ketiga, semak saiz, bentuk, lokasi dan kelajuan kebocoran, sediakan penyelesaian dan laksanakannya.

Keempat, tentukan kadar kebocoran minimum yang boleh dikesan dan kepekaan pengesanan kebocoran instrumen pengesanan, mengesan kebocoran udara dalam julat terbesar, mengelakkan beberapa kebocoran daripada diabaikan, dan meningkatkan ketepatan pengesanan kebocoran.

Kelima, fahami masa tindak balas dan masa penghapusan instrumen pengesan kebocoran, kuasai masa dengan baik, dan pastikan instrumen pengesan kebocoran berfungsi di tempatnya. Jika masa yang singkat, kesan pengesanan kebocoran pasti akan menjadi lemah. Jika masa yang lama, gas pengesan kebocoran dan kos elektrik buruh akan dibazirkan.

Keenam, ia juga perlu untuk mengelakkan penyumbatan lubang kebocoran. Kadang-kadang disebabkan oleh kesilapan operasi, beberapa habuk atau cecair menyekat lubang kebocoran semasa proses pengesanan kebocoran, memikirkan bahawa tiada lubang kebocoran dalam kedudukan ini, tetapi apabila penyumbatan ini disebabkan oleh perbezaan tekanan dalaman dan luaran. Atas sebab lain, kebocoran tidak disekat, dan kebocoran masih wujud.

www.superbheater.com